避免強酸，避免潮濕空氣。在1318mmHg(1mmHg=133.322Pa)壓力下的熔點(三相點)為-90.2℃。在-95.7℃升華。液體的相對密度為1.590(-88℃)。吸濕性非常強，但如果完全無濕氣時，并不腐蝕玻璃、汞、活塞上的潤滑脂、橡膠等。加壓下變成液體，可以利用這一特點進行分餾提純。

四氟化硅的制備裝置A-派熱克斯玻璃反應器；B-電爐；C-杜瓦斯；D-接收器；E-耐壓瓶（50ml）；F-汞儲槽；G-干冰-丙酮；H-液氮

1.將25g BaCl₂·2H₂O溶于70mL水中，再向其中加入30% H₂SiF₆，直到BaSiF₆完全沉淀出來。過濾，用水反復洗滌，直到無氯離子。加熱至110～120℃進行干燥，再放入裝有P2O5的干燥器中干燥。將制得的BaSiF₆用圖所示裝置使其熱分解。四氟化硅的制備裝置A—派熱克斯玻璃反應器；B—電爐；C—杜瓦瓶；D—接收器；E—耐壓瓶(50mL)；F—汞儲槽；G—干冰?丙酮；H—液氮將BaSiF₆放入反應管內，一邊進行真空脫水，一邊升溫至200℃，使其完全干燥。將第一接收器放入干冰?丙酮中，接收生成的雜質氟硅酸及氟化氫等。當溫度升至300℃，就開始產生四氟化硅，在插入液氮中的第二接收器中接收。繼續升溫至500℃，就轉為激烈的熱分解，于是可得到白色固體四氟化硅。收率為75%，純度在98%以上。

2.將25g粉碎的硅膠(含有37.5%水)放入250mL燒瓶中，燒瓶上裝有攪拌器、滴液漏斗、疏松填裝玻璃棉的回流冷凝器。把燒瓶的溫度升到100℃，在45min內，緩慢滴加100g氟代磺酸。由于立即有氣體產生，所以首先使之通過浸沒在干冰-丙酮中的捕集器。在此除去混入的氟代磺酸，然后在用液氮冷卻的捕集器中捕集。當氣體不再產生以后，仍要在100℃保持2h。收率84%，可得到21.8g四氟化硅。在氟化鈣和石英砂的混合物中加入濃硫酸使之反應的方法也可制得四氟化硅。但因混入了許多氟化氫和氟硅酸，所以并不理想。

外觀與性狀： 無色、有毒、有刺激性臭味的氣體，易潮解，在潮濕空氣中可產生濃煙霧。

熔點(℃)： -90.2(175.6kPa)

沸點(℃)： -65(24.1kPa)

相對密度(水=1)： 4.67

相對蒸氣密度(空氣=1)： 3.6

臨界溫度(℃)： -14.06

臨界壓力(MPa)： 3.72

溶解性： 溶于乙醇、醚、硝酸、氫氟酸。